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  • 主動隔振系統Stage-Base 450

    TMC繼續在先進技術的基礎上開發新的解決方案,以滿足半導體工具對其隔振系統提出的挑戰性要求。主動隔振系統Stage-Base 450是專為帶高精度電動X-Y平臺的高級半導體工具而設計的主動消振系統。

    更新時間:2020-07-11

    廠商性質:生產廠家

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  • 地面式主動減振平臺

    TOOL-Base是一種先進的地面式主動減振平臺,用于超精密儀器和機械設備。它適用于比典型的商業掃描電子顯微鏡(SEM)更大或更重的儀器,而且設備有高度限制。

    更新時間:2020-07-11

    廠商性質:生產廠家

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  • 賽默飛定制版SEM主動隔振系統

    賽默飛定制版SEM主動隔振系統 SEM-Base LP is a custom, low profile version of our standard SEM-Base active piezoelectric vibration cancellation platform.

    更新時間:2020-07-11

    廠商性質:生產廠家

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  • STACIS Compact Quiet Island主動隔振平臺

    STACIS Compact Quiet Island主動隔振平臺 this Compact version provides excellent sub-Hertz active floor vibration cancellation for large instruments that typically weigh over 1134 kg (2,500 lbs.).

    更新時間:2020-07-12

    廠商性質:生產廠家

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  • 主動隔振系統

    STACIS IIIc是STACIS III高級主動隔振系統的緊湊型版本。它在減小的高度下提供了同樣出色的隔振性能。

    更新時間:2021-06-11

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  • 氣浮綜合性主動隔振系統

    LaserTable-Base™氣浮綜合性主動隔振系統是現有光學平臺隔振技術的一大飛躍。通常,光學平臺由低頻氣動隔振系統支撐。雖然在隔離高頻方面非常有效,但這些被動系統實際上放大了關鍵的1至3 Hz范圍內的振動。

    更新時間:2020-07-11

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